(1)机械式中频发电机组该电源是最早用于感应加热的电源之一，由于受到当时技术水平的限制，其缺点是存在机械损耗，电效率低，只能达到75％左右；频率固定，适应范围较窄，只有8000Hz和2500I-Iz两档；单机的额定功率低，****只有500kW；占地面积和噪声大；振荡负载匹配困难。因此应用很少，现主要分布在老企业和基础较差的小型企业。
(2)晶闸管(SCR)中频电源国内自90年代中期己逐步取代中频发电机组。其频率
可以达到2．5—8kHz，额定功率可以达至800kW左右。近年来国内晶闸管中频电源发展速度较快，其过程分别是PIE或继电器时序逻辑控制。其共有特点是全集成化控制线路数字化程度高于90％，启动成功率几乎达到100％，除具有常规的水压不足、快熔熔断、过电流、过电压等保护功能外，还具有限流、限压等保护功能，功能较齐全的晶闸管电源还配置逆变失败、水温监视、能量控制等可选功能。如果在装备工艺上再进一步改进的话，可以说国内电源已经接近世界先进水平。
(3)绝缘门极晶体管(IGBT)国内于90年代中期开发出第一台电效率较高(95％左右)的50kW／50kHz IGBT电流型超音频感应加热电源。目前频率能够达到1—50kHz，****功率可作到800kW。
(4)功率场效应晶体管(MOSFET)和静电感应晶体管(SIT)电源与IGBT应用同期，国内成功研制出20kW／300kHz MOSFET高频电源，缩小了同国际先进水平的差距。在引进消化吸收国外先进技术方面，同日本电气兴业株式会社合作生产出SIT高频电源，除满足国内应用外，并有部分出口。大量的IGBT及MOSFET晶体管电源已能自制并在生产中应用，MOSFET电源只是功率级别有待提高。小功率手提式晶体管电源更是蓬勃发展，并有出口。双频电源老产品是高频与超音频组合在一台电子管高频设备上。现在则有国产的晶体管式双频电源，将中频0．5kHz与超音频40kHz组合在一起，不但电效率高，而且更适合于处理不同淬硬层深度要求的工件。超高频27．12MHzd"功率电源过去从德国进口，现在国内能够制造。